[滾印]-自動化觸控感測薄膜之滾印製程影片

     本研究為了製作細線寬之透明導電薄膜，利用黃光微影製程製作電極圖案於矽晶圓上，以光阻結構作為母膜，再以高分子材料(PDMS)灌注於母膜製作出具電極圖案之軟性膜仁(Soft Mold)，接著以滾對板機臺(Roll-to-sheet，R2S)進行UV紫外光固化轉印電極圖案於PET基材上，再將導電材料以刮塗系統填入電極圖案後進行烘烤燒結。本結果顯示，其光學量測及物性量測分析以獲得穿透率約89.1 %霧度值約6.2 %及片電阻值約3.9 Ω/□之值，達業界標準具高透光低電阻之觸控感測薄膜，可取代目前ITO之製程，未來亦可用於太陽能薄膜電池結構與整合於OLED、LCD螢幕內之可行性。